三昆LED固化設(shè)備制造商談論UVLED光源的新曝光

文章出處：未知責任編輯：三昆科技人氣：發(fā)表時間：2021-01-23 10:19

據(jù)中科院重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項目負責人介紹，光刻機是液晶面板制造設(shè)備中投資份額最大的關(guān)鍵設(shè)備。它的關(guān)鍵技術(shù)一直受到外國公司的控制，限制了該行業(yè)的發(fā)展。為了打破國外光刻設(shè)備在LCD面板行業(yè)的壟斷地位，討論了電子信息領(lǐng)域的先進技術(shù) 三昆科技LED固化設(shè)備制造商UVLED光源新曝光
根據(jù)中國科學院的數(shù)據(jù)據(jù)重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項目負責人介紹，光刻機是液晶面板制造設(shè)備中投資份額最大的關(guān)鍵設(shè)備。其關(guān)鍵技術(shù)一直受到外國公司的限制，制約了該行業(yè)的發(fā)展。為了打破國外在液晶面板行業(yè)中光刻設(shè)備的壟斷，響應電子信息領(lǐng)域?qū)ο冗M技術(shù)，節(jié)能環(huán)保的低成本曝光設(shè)備的需求，中國科學院重慶研究所美國科學院基于UVLED光源，突破LED/LD光學擴展量解決方案和束角變換理論，LED多自由曲面精密配光技術(shù)，紫外波段自由曲面無機光學元件批量生產(chǎn)，對新型曝光模塊進行了研究。技術(shù)，光電機電系統(tǒng)集成等多項關(guān)鍵技術(shù)，成功開發(fā)了微電子光刻的“兩個”?十二英寸UVLED平行光曝光模塊”和“ 5KW，8KW，tenKW汞燈替換UVLED光源模組”系列PCB產(chǎn)品，液晶面板，觸摸屏等光刻設(shè)備的產(chǎn)品強度，均勻性等多項關(guān)鍵指標均優(yōu)于國外原廠配置，并可以實現(xiàn)了兩條um生產(chǎn)線的生產(chǎn)。產(chǎn)品技術(shù)已達到國際領(lǐng)先水平。目前，研發(fā)團隊已與重慶方正，深南電路等大型企業(yè)達成合作協(xié)議，與企業(yè)合作完成光刻設(shè)備的升級改造。市場上此類光刻設(shè)備5萬余臺，產(chǎn)值將超過50億元。

據(jù)報道，我國已加入《水a(chǎn)m公約》，并禁止在2021年之前進出口和生產(chǎn)含汞商品。該項目“開發(fā)和應用低成本光刻工藝和液晶面板設(shè)備 “開發(fā)UVLED光源模組為大勢所趨，以高效，節(jié)能，環(huán)保UVLED陣列為曝光光源，通過自由曲面的精確配光和復眼均勻配光方案，大區(qū)域高強度均勻曝光，對現(xiàn)有的光刻機汞光源進行了升級改造。僅從電費上計算，每UVLED設(shè)備每年就可為公司節(jié)省約8萬元的使用成本。如果將目前市場上的5萬盞汞燈雕刻設(shè)備全部升級，每年可節(jié)省電費40億元。以上產(chǎn)品已申報15項專利，其中2項已獲發(fā)明專利授權(quán)。為應對當前的機遇和挑戰(zhàn)，在“重慶液晶面板行業(yè)共同關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新主題專項”的大力支持下，重慶研究院與重慶光電股份有限公司，重慶郵電大學合作計劃將UVLED光源系統(tǒng)引入LCD平板光刻設(shè)備中，以“增強LCD面板相關(guān)公司的盈利能力和競爭力，促進重慶LCD面板產(chǎn)業(yè)的長遠發(fā)展”為目標專注于開發(fā)用于LCD面板制造的低成本光刻工藝和設(shè)備。